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国标即将实施
GB/T 42709.21-2026
半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法
发布团体/单位国家标准化管理委员会
发布日期2026-07-30
实施日期2027-02-01
性质推荐性

起草单位（4 家）

中国电子技术标准化研究院牵头工业和信息化部电子第五研究所上海烨映微电子科技股份有限公司深圳稀导技术有限公司
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