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团标现行
T/ICMTIA TG0011—2022
集成电路用高纯铝及铝合金溅射靶材
发布团体/单位中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期2022-04-08
实施日期2022-05-01

起草单位（2 家）

宁波江丰电子材料股份有限公司牵头有研亿金新材料有限公司
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