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团标现行
T/ICMTIA SM0028—2022
集成电路用电子级多晶硅
发布团体/单位中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期2022-05-10
实施日期2022-05-31

起草单位（5 家）

江苏鑫华半导体材料科技有限公司牵头有研半导体硅材料股份公司上海新昇半导体科技有限公司西安奕斯伟硅片技术有限公司中环领先半导体材料有限公司
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