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团标现行
T/GVS 015—2024
远程等离子体源的解离率测试方法
发布团体/单位广东省真空学会
发布日期2024-10-10
实施日期2024-10-10

起草单位（5 家）

季华实验室牵头江苏神州半导体科技有限公司华南师范大学深圳市恒运昌真空技术股份有限公司中山凯旋真空科技股份有限公司
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