T/CHBAS 33—2023 集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖 | 万企标准网

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团标现行

T/CHBAS 33—2023

集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖

发布团体/单位河北省标准化协会

发布日期2023-07-27

实施日期2023-07-27

起草单位（3 家）

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司牵头中国船舶集团有限公司第七一八研究所中国质量协会

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