GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法 | 万企标准网

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国标废止

GB/T 29056-2012

硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法

发布团体/单位国家标准化管理委员会

发布日期2012-12-31

实施日期2013-10-01

性质推荐性

起草单位（3 家）

南京中锗科技股份有限公司牵头南京大学现代分析中心南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心

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