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国标现行
GB/T 41064-2021
表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
发布团体/单位国家标准化管理委员会
发布日期2021-12-31
实施日期2022-07-01
性质推荐性

起草单位（2 家）

清华大学牵头中国石油大学（北京）
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