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团标现行
T/CAQI 368—2023
金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备
起草单位（8 家）
铂世光（上海）技术有限公司牵头上海征世科技股份有限公司西安电子科技大学芜湖研究院中国科学技术大学物理学院武汉工程大学材料科学与工程学院武汉工程大学等离子体化学与新材料湖北省重点实验室山东大学新一代半导体材料研究院济南金刚石科技有限公司
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