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「广东省新兴激光等离子体技术研究院」共参与 4 项标准
团标 4 项
📊 生成企业对标报告
团体标准4
T/CI 1333—2025团标
高功率脉冲磁控溅射PVD设备技术要求 参编单位
状态：现行
T/CI 1181—2025团标
半导体晶圆制造用等离子体刻蚀设备通用技术规范 参编单位
状态：现行
T/GVS 017—2024团标
连续式光学磁控溅射镀膜设备 牵头起草单位
状态：现行
T/CATSI 09010—2021团标
光学真空腔体洁净度检测规范 参编单位
状态：现行